Monahan, Kevin M: Handbook of Critical Dimension Metrology and Process Control. Proceedings of a conference held 28-29 September 1993 Monterey, California. [= Critical Reviews of Optical Science and Technology Volume CR52] Bellingham, SPIE Optical Engine

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Autor: Monahan, Kevin M

Titel: Handbook of Critical Dimension Metrology and Process Control. Proceedings of a conference held 28-29 September 1993 Monterey, California. [= Critical Reviews of Optical Science and Technology Volume CR52]
Bellingham, SPIE Optical Engineering Press, 1994

Seitenanzahl: Original-Leinwand; kl. 4°; x 358 Seiten

ISBN: 0819413631

Händler-Kategorie: Physik

oldthing-Nummer: 39523281
| Lagernummer: 11956

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